الوظائف الأساسية والتطبيقات الرئيسية

الحماية الخاملة (مكافحة الأكسدة/منع الرطوبة): النيتروجين مستقر كيميائيًا، ويعزل الأكسجين والرطوبة، وبالتالي يمنع أكسدة أو تلوث المواد الحساسة مثل رقائق السيليكون والوصلات المعدنية والمقاومات الضوئية. تتضمن السيناريوهات النموذجية ما يلي: تخزين/نقل الرقاقة، والطلاء المقاوم للضوء، وترسيب الأغشية الرقيقة CVD/ALD، والتليين الحراري السريع (RTA)، وربط الأسلاك.

التحكم في العمليات والغاز الناقل: ويعمل كغاز ناقل لنقل المواد الأولية، مما يضمن توصيلها بشكل موحد إلى غرفة التفاعل. كما أنه يعمل كغاز تخفيف أو غاز خلفي لتثبيت البلازما وتنظيم معدلات التفاعل وتعزيز تجانس الأغشية الرقيقة بالإضافة إلى دقة ملف النقش. تتضمن السيناريوهات النموذجية ما يلي: CVD/ALD، والحفر البلازمي، وتخزين زرع الأيونات.

التطهير والتنقية: ويقوم بتطهير المواد المتبقية من غرف المعدات وخطوط الأنابيب بشكل كامل لمنع التلوث المتبادل. بالإضافة إلى ذلك، فهو يحافظ على الضغط الإيجابي داخل الغرف النظيفة وينشئ حواجز ستارة هوائية واقية. تتضمن السيناريوهات النموذجية ما يلي: تبديل الغرفة في أدوات الطباعة الحجرية/الحفر، وتبديل خط الغاز، وصيانة الضغط الإيجابي للغرفة النظيفة.

التطبيقات المساعدة والمتخصصة: حماية الرقائق أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية؛ تثبيط أكسدة اللحام وتعزيز قابلية البلل أثناء إعادة تدفق SMT واللحام الموجي؛ تقليل أكسدة السطح أثناء المعالجة بالليزر؛ وتوفير بيئة تخزين خاملة للمكونات الحساسة (مثل الرؤوس المغناطيسية ومصابيح LED) لتقليل معدلات الفشل.